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    SiC高溫離子注入機1臺

    山西-太原 狀態(tài)：結(jié)果 加入收藏 打印 導(dǎo)出為
    更新時間:
    2022年04月01日
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    項目編號： ****

    專業(yè)領(lǐng)域：先進材料與制造

    主要內(nèi)容

    離子注入機是碳化硅器件制造工藝生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備。要求采用成熟的光路單元技術(shù)，光路系統(tǒng)主要包括離子源、引出系統(tǒng)、質(zhì)量分析器、四極磁透鏡、加速管、靜電掃描、平行透鏡、靶室等；設(shè)計單片高溫靶盤，滿足高溫高能離子注入和常溫注入。供貨周期6-8個月。要求供應(yīng)商具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)能力，可提供相關(guān)資格證明材料。

    聯(lián)系人:王星星

    聯(lián)系電話:139****7816


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