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| ****采購光譜橢偏儀項(xiàng)目 | |
| 項(xiàng)目所在采購意向: | ****2025年05月政府采購意向 |
| 采購單位: | **** |
| 采購項(xiàng)目名稱: | ****采購光譜橢偏儀項(xiàng)目 |
| 預(yù)算金額: | 98.000000萬元(人民幣) |
| 采購品目: | |
| 采購需求概況 : |
采購內(nèi)容:光譜橢偏儀;主要功能或目標(biāo):通過偏振光與物質(zhì)的相互作用,精確量化材料的光學(xué)常數(shù)、厚度及微觀結(jié)構(gòu);需滿足的要求:光譜范圍寬光譜覆蓋,支持紫外波段,具備高光譜分辨率;入射角可調(diào),支持多角度測量,偏振調(diào)制精度高;適用于測量薄氧化物半導(dǎo)體;可以表征單層或多層膜的膜厚及折射率;具備高可靠擬合模型與標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)功能。
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| 預(yù)計(jì)采購時間: | 2025-05 |
| 備注: |
無
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本次公開的****政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。標(biāo)書代寫